硅碳棒加熱工藝實(shí)驗(yàn)裝置
2021-02-05 09:27:56 點(diǎn)擊：
現(xiàn)采用新的加熱方法:不用氫氧焰，而是采用硅碳棒做加熱元件的高溫電爐來(lái)做熱源，實(shí)驗(yàn)的系統(tǒng)如圖1(a)所示流量控制采用質(zhì)量流量控制器.精確調(diào)節(jié)控制反應(yīng)物原料氣體的流量從而控制沉積層的物質(zhì)濃度和厚度，形成預(yù)期的折射率剖面形狀，硅碳棒電爐由程序來(lái)控制升溫過(guò)程，爐內(nèi)的溫度近似認(rèn)為按預(yù)先設(shè)計(jì)好的升溫曲線來(lái)變化，如圖1(b)所示.石英反應(yīng)管在電爐內(nèi)的溫度近似認(rèn)為與電爐溫度相同反應(yīng)生成的尾氣(包括未完全反應(yīng)的原料氣體、反應(yīng)產(chǎn)物氣體及5i0,粉末等)用水進(jìn)行處理在處理時(shí)中和和吸收一些后，再排放到空氣中。
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