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提高硅碳棒的使用壽命

2023-05-20 13:35:20     點擊:

       圖5為熱端硅碳棒晶粒表面生長晶須的形貌,其成分分析結(jié)果見表1,2。數(shù)據(jù)表明,圖Sa的晶須中含有少量的碳,而圖Sh中晶須處的SiC已完全被氧化生成SiOZ,鐵為雜質(zhì)。文獻表明,SiC的抗氧化能力極差,任何溫度下都能被氧化而轉(zhuǎn)變成SiOZ,由于氧化過程的膨脹作用,使硅碳棒開裂。SiOZ晶須的長出表明氧已經(jīng)沿開放的氣孔滲透到材料內(nèi)部,非晶態(tài)的SiOZ層結(jié)晶成方晶石,從而使在較低溫度下SiC表面形成的SiOZ保護層破裂,降低硅碳棒的使用壽命。這說明試驗用硅碳棒氣孔率較大,消除或減少開放的氣孔有助于提高硅碳棒的使用壽命。這也是國內(nèi)外硅碳棒壽命不同的一個因素。

       (1>硅碳棒用碳化硅陶瓷材料由尺寸均勻的小晶粒及部分大晶粒組成,對晶粒尺寸的統(tǒng)計分布表明,其分布滿足正態(tài)分布。

       (2)加熱200h后斷口表面存在微裂紋及針狀晶須,該生長物為SiC氧化后形成的SiOz。zsrider.com

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