全自動(dòng)硅碳棒滾圓開(kāi)槽一體機(jī)工作過(guò)程及優(yōu)勢(shì)
2024-03-10 16:28:44 點(diǎn)擊：
該硅碳棒滾圓開(kāi)槽一體機(jī)的工作過(guò)程如下:上下料機(jī)器人抓取半導(dǎo)體硅碳棒送至硅碳棒夾持區(qū)域，由固定夾頭和滑動(dòng)夾頭夾緊硅碳棒，固定夾頭和滑動(dòng)夾頭上的旋轉(zhuǎn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)硅碳棒，上下料機(jī)器人探針檢測(cè)硅碳棒與夾頭軸線的重合度，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)整硅碳棒位置;硅碳棒夾持組件夾持硅碳棒運(yùn)行至磨削區(qū)域，兩組粗磨組件對(duì)硅碳棒進(jìn)行滾圓粗磨削，精磨組件對(duì)硅碳棒進(jìn)行滾圓精磨削;晶向檢測(cè)組件對(duì)硅碳棒晶向進(jìn)行檢測(cè)定位，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果使用粗磨組件和精磨組件對(duì)6硅碳棒進(jìn)行粗磨和精磨OF面，或使用開(kāi)V槽組件對(duì)8”或12”硅碳棒開(kāi)V槽;硅碳棒夾持組件夾持硅碳棒退回至原位，并由上下料機(jī)器人取走已磨削完成的硅碳棒。
該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)從上料、磨削、檢測(cè)、下料的全自動(dòng)化運(yùn)行，無(wú)需人工參與;設(shè)置兩套粗磨組件和一套精磨組件，兼顧了滾圓磨削效率和滾圓磨削精度，大大提高了生產(chǎn)能力。
該機(jī)床可加工長(zhǎng)度為80 mm-800 mm的6或12半導(dǎo)體硅碳棒，磨削OF面深度誤差為士0.06 mm,OF面表面粗糙度Rum，開(kāi)V槽深度誤差為士0.05 mm, V型槽角度為890-910。經(jīng)實(shí)際滾圓磨削驗(yàn)證和傳統(tǒng)半導(dǎo)體硅碳棒加工設(shè)備相比，硅碳棒加工效率和精度有極大提高，得到半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)企業(yè)認(rèn)可。
全自動(dòng)硅碳棒滾圓開(kāi)槽一體機(jī)的設(shè)計(jì)，提高了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)硅碳棒滾圓開(kāi)槽加工技術(shù)水平，可滿足國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于滾圓高精度及高效率的迫切需求，為半導(dǎo)體行業(yè)專用機(jī)床的設(shè)計(jì)提供參考。http://zsrider.com/
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