裝置用MoSiloxide硅碳棒進(jìn)行真空脫Na處理
如圖3所示,經(jīng)1 300℃處理l00
h后,硅碳棒未脫Na試樣表面出現(xiàn)一些白色斑點(diǎn),這些白色斑點(diǎn)是在Na組分自試樣內(nèi)部向外揮發(fā)過程中形成的富Na區(qū)域,其結(jié)構(gòu)較疏松,并往往存在有微小孔洞.白色斑點(diǎn)作為表面缺陷,嚴(yán)重?fù)p害了硅碳棒保護(hù)膜的完整高溫蟋變特性圖4是未脫Na和脫Na試樣的蠕變曲線,測(cè)試溫度為1
000 ` ,載荷100 MPa由圖4可以看出,在該條件下脫Na試樣的蠕變速率明顯較低,經(jīng)估算未脫Na和脫Na試樣的穩(wěn)態(tài)應(yīng)變速率分別為4.72xl
OYs-,和1.94x l0ls
'.這是因?yàn)?,添加的粘土在材料中主要以玻璃相形式分布在晶界上,高的N。含量降低了玻璃相的軟化點(diǎn),同樣溫度下未脫Na材料中玻璃相的粘度必然較低,而高溫下晶界玻璃相粘度的高低是控制材料蠕變速率的關(guān)鍵因素,晶界粘度越低蠕變速率越快,因此未脫Na試樣的蠕變速率明顯高于脫Na試樣在前述研究的基礎(chǔ)上,利用實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)了兩種材料制成的硅碳棒的耐久性.分別以正常使用時(shí)1
.5 , 2.0 , 2.3倍的負(fù)荷將硅碳棒升溫至1
400 , 1 500,1 600℃通電45 s后斷電,45
s后再通電,如此反復(fù),直至損壞,用其所能夠承受的熱反復(fù)次數(shù)表征其使用壽命,結(jié)果列于表3‘從表3可以看出,1 400
0E,時(shí)二者的耐久性相差無幾,隨著溫度的升高,未脫Na試樣的耐久性急劇惡化,而脫Na試樣的耐久性下降相對(duì)緩慢.可見采用脫Na工藝可大大地提高材料的耐久性壽命。
(1)對(duì)半導(dǎo)體材料熱處理裝置用MoSiloxide硅碳棒進(jìn)行真空脫Na處理,較好地避免了石英玻璃管的失透問題;
(2)真空脫Na處理改善了MoSizloxide硅碳棒材料的彎曲強(qiáng)度和高溫蠕變特性;
(3)真空脫Na處理提高M(jìn)oSiloxide硅碳棒的使用壽命.zsrider.com
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