實(shí)際使用結(jié)構(gòu)相同的小型硅碳棒
2021-08-14 19:33:33 點(diǎn)擊：
用下點(diǎn)彎曲試驗(yàn)測試硅碳棒二次成膜處理和L 30(1℃保溫100 h條件下未脫Na和脫Na試樣的彎曲強(qiáng)度，跨距為30 mm.采取四點(diǎn)彎曲方法測試兩種試樣的高溫蠕變特性，內(nèi)外跨距分別為10~和30 mm.將二次成膜后的兩種試樣插人石英玻璃管中加熱至1 006 :保溫506 h，考查對(duì)其失透特性的影響.為了評(píng)價(jià)Na含量對(duì)材料壽命的影響，本文將脫Na前后的兩種試樣加工成與實(shí)際使用結(jié)構(gòu)相同的小型硅碳棒，在不同溫度下進(jìn)行了高負(fù)荷耐久性試驗(yàn)，用其所能夠承受的熱履歷次數(shù)表征其使用壽命.a.><石英玻璃管失透現(xiàn)象制造半導(dǎo)體材料的熱處理裝置如圖1所示.待處理樣品放在石英玻璃質(zhì)的管中，該玻璃管形成一個(gè)可以通人各種氣氛的密閉空間，熱量是通過玻璃管輻射到樣品上對(duì)樣品進(jìn)行加熱的，因此玻璃管必須保持透明狀態(tài).圖2給出了脫Na前后二硅化鑰硅碳棒對(duì)石英玻璃管透明特性的影響由圖2可以看出，在1 000℃保溫500 h試驗(yàn)后，未脫Na條件下玻璃管發(fā)生失透現(xiàn)象，而脫Na條件下玻璃管仍然是透明的.這是因?yàn)槲疵揘a硅碳棒中2.2抗彎強(qiáng)度和韋伯模f表1給出了兩種試樣的抗彎強(qiáng)度。分別表示試樣的最大、最小和平均抗彎強(qiáng)度)和韋伯模量(間，其中脫Na試樣經(jīng)過二次成膜處理，未脫Na試樣經(jīng)過與脫Na試樣二次成膜處理?xiàng)l件相同(1 SDO℃保2 min)的成膜處理，從表1可以看出，兩種試樣的彎曲強(qiáng)度和韋伯模量基本上處在同一水平.但是，將兩種試樣在1 300℃處理100 h后，脫Na試樣的彎曲強(qiáng)度和韋伯模量明顯高于未脫 Na試樣(表2)。zsrider.com
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