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    如圖3所示，硅碳棒經(jīng)1 300℃處理100 h后，未脫Na試樣表面出現(xiàn)一些白色斑點(diǎn)，這些白色斑點(diǎn)是在Na組分自試樣內(nèi)部向外揮發(fā)過(guò)程中形成的富Na區(qū)域，其結(jié)構(gòu)較疏松，并往往存在有微小孔洞.白色斑點(diǎn)作為表面缺陷.嚴(yán)重?fù)p害了保護(hù)膜的完整性，導(dǎo)致材料的彎曲強(qiáng)度大幅度下降.高溫蟋變特性圖4是未脫Na和脫Na試樣的蠕變曲線，測(cè)溫度為1 000,載荷100 MPa由圖4可以看出，在該條件下脫Na試樣的蠕變速率明顯較低，經(jīng)估未脫Na和脫Na試樣的穩(wěn)態(tài)應(yīng)變速率分別為4.72x10`Is-，和1.94x l0ls.這是因?yàn)?，添加的粘土在材料中主要以玻璃相形式分布在晶界上，高的N。含量降低了玻璃相的軟化點(diǎn)，同樣溫度下未脫N$材料中玻璃相的粘度必然較低，而高溫下晶界玻璃相粘度的高低是控制材料蠕變速率的關(guān)鍵因素，晶界粘度越低蠕變速率越快，因此未脫Na試樣的蠕變速率明顯高于脫Na試樣在前述研究的基礎(chǔ)上，利用實(shí)驗(yàn)檢驗(yàn)了兩種材料制成的硅碳棒的耐久性.分別以正常使用時(shí)1.5,2.0,2.3倍的負(fù)荷將硅碳棒升溫至1 400 , 1 500,1 600 `C通電45 s后斷電，45、后再通電.如此反復(fù)，直至損壞，用其所能夠承受的熱反復(fù)次數(shù)表征其使用壽命，結(jié)果列于表3‘從表3可以看出，1 400℃時(shí)二者的耐久性相差無(wú)幾.隨著溫度的升高，未脫Na試樣的耐久性急劇惡化，而脫Na試樣的耐久性下降相對(duì)緩慢.可見(jiàn)采用脫Na工藝可大大地提高材料的耐久性壽命-

    (1)對(duì)半導(dǎo)體材料熱處理裝置用MaSiloxide硅碳棒進(jìn)行真空脫Na處理，較好地避免了石英玻璃管的失透問(wèn)題;

    (2)真空脫Na處理改善了MoSiloxide硅碳棒材料的彎曲強(qiáng)度和高溫蠕變特性;

    (3)真空脫Na處理提高了MoSiloxide硅碳棒的使用壽命.zsrider.com