硅碳棒多線線鋸工藝的綠色度Y隨鋼線走線速度
硅碳棒多線線鋸工藝的綠色度V隨鋼線張力x在18.0000-27.8501 N之間增大的趨勢(shì)較鋼線張力x在27.8501-35.0000 N之間減小趨勢(shì)陡峭,主要原因在于當(dāng)鋼線張力x越過(guò)閡值27.8501 N后,線鋸硅碳棒時(shí)造成鋼線振動(dòng),該現(xiàn)象對(duì)評(píng)價(jià)值Y的影響程度低于之前由于鋼線張力x在18.0000-27.8501 N之間增加的影響程度。
在鋼線張力x和硅碳棒進(jìn)給速度z為常數(shù)(以下分析取x=26.5 N, z=1.05mm/min)的情況下,鋼線走線速度Y介于800.00-1055.36 m/min之間,評(píng)價(jià)值Y隨鋼線走線速度Y增大而增大;鋼線走線速度Y介于1055.36-1200.00 m/min之間,評(píng)價(jià)值Y隨鋼線走線速度Y增大而減小,如圖5-16所示。
分析圖5-16中曲線的變化趨勢(shì),鋼線走線速度Y在閡值1055.36 m/min以下,走線速度越低,單位時(shí)間內(nèi)鋸切硅碳棒體積越小,造成硅片表面出現(xiàn)線痕等,影響評(píng)價(jià)指標(biāo)出片率W、能源利用效率m、廢水排放量e和COD排放量e2;對(duì)單位產(chǎn)品總的生產(chǎn)成本c,、硅片厚度ga、硅片單片耗硅量r、每千片硅片生產(chǎn)耗費(fèi)的時(shí)間t,和用戶滿意度、了影響較小。
硅碳棒多線線鋸工藝的綠色度Y隨鋼線走線速度Y在800.00-1055.36 m/min之間增大的趨勢(shì)較鋼線走線速度Y在1055.36-1200.00 m/min之間減少趨勢(shì)陡峭,主要原因在于當(dāng)鋼線走線速度Y越過(guò)閡值1055.36 m/min后,線鋸硅碳棒時(shí)造成硅片表面不良,導(dǎo)致對(duì)評(píng)價(jià)值Y的影響程度低于之前由于鋼線走線速度Y在1055.36-1200.00 m/min之間增加的影響程度。
在鋼線張力x和鋼線走線速度Y為常數(shù)(以下分析取x=26.5 N, z=1000m/min)的情況下,硅碳棒進(jìn)給速度z介于0.7500-1.0895 mm/min之間,評(píng)價(jià)值Y隨硅碳棒進(jìn)給速度z增大而增大;硅碳棒進(jìn)給速度z介于1.0895-1.35 mm/min之間,評(píng)價(jià)值Y隨硅碳棒進(jìn)給速度z增大而減小,如圖5-17所示。分析該變化趨勢(shì)的原因在于:硅碳棒進(jìn)給速度z在閡值1.0895 mm/min以下,進(jìn)給速度越慢,線鋸硅碳棒耗時(shí)增加,造成硅片線鋸效率降低等,影響評(píng)價(jià)每千片硅片生產(chǎn)耗費(fèi)的時(shí)間t,單位產(chǎn)品總的生產(chǎn)成本c,能源利用效率m、廢水排放量e和COD排放量。a;對(duì)評(píng)價(jià)指標(biāo)出片率W、硅片厚度qa、硅片單片耗硅量r和用戶滿意度s影響較小。zsrider.com
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