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       研究了硅碳棒多線線鋸技術(shù)一一游離砂漿多線線鋸和固結(jié)金剛石顆粒多線線鋸及它們的工藝流程，并以硅碳棒多線線鋸工藝過(guò)程為基礎(chǔ)，對(duì)綠色制造目標(biāo)屬性進(jìn)行了分析，分別從加工量、加工效率、加工成本、資源消耗、能源消耗、環(huán)境影響和社會(huì)效益共7個(gè)維度結(jié)合具體工藝流程建立硅碳棒多線線鋸綠色工藝評(píng)價(jià)體系，按照評(píng)價(jià)指標(biāo)確定原則確定硅碳棒多線線鋸綠色工藝評(píng)價(jià)指標(biāo)。硅碳棒多線線鋸綠色工藝評(píng)價(jià)及關(guān)鍵工藝參數(shù)優(yōu)化的實(shí)質(zhì)是，通過(guò)優(yōu)化試驗(yàn)獲得最少試驗(yàn)數(shù)據(jù)基礎(chǔ)上，進(jìn)行包含關(guān)鍵工藝參數(shù)的多元線性方程擬合，在關(guān)鍵工藝參數(shù)連續(xù)取值范圍內(nèi)求最大解。

       研究了硅碳棒多線線鋸綠色工藝評(píng)價(jià)體系包含的具體內(nèi)容，按照工藝評(píng)價(jià)指標(biāo)的確定原則，基于綠色制造目標(biāo)屬性，確定硅碳棒多線線鋸綠色工藝評(píng)價(jià)指標(biāo)，它們包括硅片出片率、硅片厚度Cj2、單位產(chǎn)品總的生產(chǎn)成本CI、硅片單片耗硅量r、每千片硅片生產(chǎn)耗費(fèi)的時(shí)間t1、能源利用效率m、廢水排放量e!,COD排放量e2、用戶滿意度、了。由于指標(biāo)屬性相差較大，因此按照直接法、區(qū)間計(jì)算法、定量化法等進(jìn)行評(píng)價(jià)指標(biāo)數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化。經(jīng)分析評(píng)價(jià)指標(biāo)y, qa, W,s屬于正指標(biāo);c,,t!,r!,e!,e2屬于負(fù)指標(biāo)。對(duì)采用不同工藝參數(shù)多線線鋸獲得型號(hào)JK-121-O1A-JK-121-O1A的5種156 X 156多晶硅片的工藝過(guò)程建立綠色評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)矩陣R，它為硅碳棒多線線鋸綠色工藝進(jìn)行綜合評(píng)價(jià)奠定了基礎(chǔ)。zsrider.com