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       硅碳棒線鋸切片的其他工藝參數(shù)有線鋸線速度、進給速度和進給力等，一般采用正交試驗法對這些工藝參數(shù)進行優(yōu)化。對單晶硅碳棒進行切片，分析了切片工藝參數(shù)對鋸切質(zhì)量的影響。金制器來保持法向力恒定。這種法向力的主動控制導(dǎo)致更高的切削生產(chǎn)率和表面粗糙度的顯著下降。此外，超聲振動輔助應(yīng)用于單晶硅碳棒的線鋸中可有效改善切片的表面質(zhì)量。

       硅碳棒的單顆粒刻劃實驗發(fā)現(xiàn)，磨粒刻劃在晶體表面產(chǎn)生了脆性剝落和劃痕，如圖11(a)所示。脆性剝落的范圍超過磨粒的刻劃寬度，說明刻劃引起的應(yīng)力向材料表面擴展。在磨粒與晶體表面開始接觸的瞬間，磨粒尖端會由于沖擊形成局域的微破碎，進而形成細微的切削刃，這些切削刃在刻劃區(qū)域形成了多道細微劃痕，如圖11(b)所示。另外，在經(jīng)過一段時間的磨損后，磨粒的切削能力大幅削弱，劃痕中殘留許多未被去除的材料，如圖11(c)中劃痕內(nèi)部明亮區(qū)域所示。磨?？虅澰斐傻膭澓圻吘壌嬖谠S多微裂紋及橫向裂紋，位置鄰近的裂紋會發(fā)生交叉，造成了表面的微破碎。此外，由于硅碳棒各向異性的力學(xué)性質(zhì)，微裂紋會向特定方向擴展，導(dǎo)致晶體的解理破碎。剛石線鋸雖然能有效地切割硅碳棒晶圓片，但存在著嚴重的表面損傷，包括滯止槽、粉碎和微裂紋。設(shè)計了帶有自適應(yīng)力控制器單線鋸系統(tǒng)。根據(jù)法向力與其他過程因素的相關(guān)性建立動態(tài)模型，采用自適應(yīng)控制器來保持法向力恒定。這種法向力的主動控制導(dǎo)致更高的切削生產(chǎn)率和表面粗糙度的顯著下降。此外，超聲振動輔助應(yīng)用于單晶硅碳棒的線鋸中可有效改善切片的表面質(zhì)量。

       硅碳棒的單顆?？虅潓嶒灠l(fā)現(xiàn)，磨?？虅澰诰w表面產(chǎn)生了脆性剝落和劃痕，如圖11(a)所示。脆性剝落的范圍超過磨粒的刻劃寬度，說明刻劃引起的應(yīng)力向材料表面擴展。在磨粒與晶體表面開始接觸的瞬間，磨粒尖端會由于沖擊形成局域的微破碎，進而形成細微的切削刃，這些切削刃在刻劃區(qū)域形成了多道細微劃痕，如圖11(b)所示。另外，在經(jīng)過一段時間的磨損后，磨粒的切削能力大幅削弱，劃痕中殘留許多未被去除的材料，如圖11(c)中劃痕內(nèi)部明亮區(qū)域所示。磨?？虅澰斐傻膭澓圻吘壌嬖谠S多微裂紋及橫向裂紋，位置鄰近的裂紋會發(fā)生交叉，造成了表面的微破碎。此外，由于硅碳棒各向異性的力學(xué)性質(zhì)，微裂紋會向特定方向擴展，導(dǎo)致晶體的解理破碎。zsrider.com