硅碳棒生長(zhǎng)工藝參數(shù)的選擇
采用硅碳棒作加熱體.從熔體中生長(zhǎng)LiTaO3單晶,其中主要包括以下工藝參數(shù)。溫度梯度合適的溫度梯度是保證硅碳棒成功生長(zhǎng)的首要條件,選擇溫度梯度要滿足以下條件:C1)在熔體表面中心區(qū)域形成合適的過(guò)冷度;(2)硅碳棒生長(zhǎng)過(guò)程中溫度穩(wěn)定,晶形容易控制,(3)硅碳棒的熱應(yīng)力小,不產(chǎn)生裂紋;(4)不產(chǎn)生組分過(guò)冷。本課題選用的軸向溫度梯度為:液面上0℃/cm,液面下18℃cm,徑向溫場(chǎng)均勻?qū)ΨQ,熱軸心與機(jī)械軸心重合。硅碳棒的生長(zhǎng)速度硅碳棒的生長(zhǎng)面沿其法線方向(軸向)在單位時(shí)間內(nèi)增長(zhǎng)的厚度,稱為軸向生長(zhǎng)速度,它包括機(jī)械的引上速度和液面下降速度二部分。硅碳棒的生長(zhǎng)速度受溫度梯度的制約,為了得到宏觀完整的硅碳棒,生長(zhǎng)速度有一定的臨界值,超過(guò)這個(gè)值,就會(huì)產(chǎn)生組分過(guò)冷,出現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)、云絲等缺陷,硅碳棒內(nèi)應(yīng)力增大,導(dǎo)致硅碳棒開(kāi)裂。在本實(shí)驗(yàn)中,生長(zhǎng)2bmm的硅碳棒,其提拉速度為3mmh,S4Omrn的硅碳棒,提拉速度為2mm/h。硅碳棒的旋轉(zhuǎn)速度硅碳棒的旋轉(zhuǎn)起到攪拌的作用,進(jìn)一步使原料混合均勻,并同時(shí)影響熔體中的傳質(zhì)和傳熱。轉(zhuǎn)速的快慢直接影響固液界面的形狀,平坦的固液界面是生長(zhǎng)優(yōu)質(zhì)祖酸銼硅碳棒的重要條件,旋轉(zhuǎn)速度快,則固液界面變凹;旋轉(zhuǎn)速度慢,則固液界面變凸。為了保證硅碳棒在平坦的固液界面下生長(zhǎng),生長(zhǎng)54mm硅碳棒的合適的旋轉(zhuǎn)速度為12"2Drlmin口生長(zhǎng)s20硅碳棒的旋轉(zhuǎn)速度為20一3Ur/nun。以上溫度梯度,生長(zhǎng)速度和旋轉(zhuǎn)速度等各參數(shù)相互合理配合,生長(zhǎng)出的Lira幾硅碳棒無(wú)宏觀缺陷。zsrider.com
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