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導(dǎo)致單晶圓硅碳棒發(fā)生崩邊或平行度差的問(wèn)題

2024-04-05 17:21:58     點(diǎn)擊:

       單晶硅碳棒在截?cái)噙^(guò)程中,由于各種原因?qū)е聠尉A硅碳棒發(fā)生崩邊或平行度差的問(wèn)題,嚴(yán)重影響了單晶圓硅碳棒的合格率。為了分析并解決該問(wèn)題,探討了單晶硅碳棒截?cái)鄷r(shí)發(fā)生崩邊或平行度差的具體原因及應(yīng)對(duì)措施。除去一般人為的操作不規(guī)范外,其中影響單晶硅碳棒截?cái)鄷r(shí)發(fā)生崩邊或平行度差的因素主要有:夾具、鋸帶的切割速度及硅碳棒質(zhì)量等。

       太陽(yáng)能是未來(lái)最清潔、安全和可靠的能源,發(fā)達(dá)國(guó)家正在把太陽(yáng)能的開(kāi)發(fā)利用作為能源革命的主要內(nèi)容,光伏產(chǎn)業(yè)正日益成為國(guó)際上繼IT、微電子產(chǎn)業(yè)之后又一爆炸式發(fā)展的行業(yè)。太陽(yáng)能具有可再生和環(huán)保等方面的特點(diǎn),這種優(yōu)勢(shì)讓包括中國(guó)在內(nèi)的許多國(guó)家將太陽(yáng)能作為重點(diǎn)發(fā)展的新能源產(chǎn)業(yè)。近年來(lái),由于歐美各國(guó)市場(chǎng)需求的增大,我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)取得了快速的發(fā)展,最近5年的年均增長(zhǎng)速度達(dá)到40%以上。在進(jìn)一步加大政策扶持力度的背景下,未來(lái)光伏產(chǎn)業(yè)的增長(zhǎng)前景將更為廣闊。光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)鏈從上游到下游,主要包括的產(chǎn)業(yè)鏈條為多晶硅料、單晶硅碳棒(多晶硅錠)、硅片、電池片以及光伏組件。

       單晶硅碳棒的制造只是整個(gè)光伏產(chǎn)業(yè)鏈條中一個(gè)環(huán)節(jié)。關(guān)于單晶硅的研究,更多的側(cè)重點(diǎn)是關(guān)于晶體生長(zhǎng)缺陷、熱場(chǎng)的模擬分析一3-a一及硅碳棒斷棱的研究,對(duì)光伏企業(yè)的實(shí)際生產(chǎn)具有一定的指導(dǎo)意義。而對(duì)于單晶硅制造企業(yè)來(lái)說(shuō),更關(guān)注的實(shí)際生產(chǎn)中單晶硅碳棒截?cái)喟l(fā)生崩邊或平行度差的問(wèn)題分析還鮮有報(bào)道。為了分析該現(xiàn)象,本文借助于生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的操作經(jīng)驗(yàn),從夾具、鋸帶的切割速度及硅碳棒質(zhì)量等因素,討論了硅碳棒截?cái)喟l(fā)生崩邊或平行度差現(xiàn)象的原因并給出了具體的應(yīng)對(duì)措施。http://zsrider.com/

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