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       采取的措施:定期對(duì)導(dǎo)向器銅塊進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，用一段時(shí)間后要用砂紙打磨小銅塊;同時(shí)要注意對(duì)鋸帶使用的保護(hù)，冷卻水管道必須對(duì)準(zhǔn)鋸帶，使其一直處于被冷卻狀態(tài)。

       硅碳棒表面的粗細(xì)不均勻，導(dǎo)致夾具與硅碳棒的接觸面積減小，面接觸變?yōu)榱它c(diǎn)接觸，摩擦力減小，故不能保證硅碳棒的穩(wěn)定性，雖然夾具已經(jīng)夾得緊，但由于硅碳棒受力不均勻，所以會(huì)發(fā)生左右或向下的移動(dòng)，不能保證硅碳棒與鋸帶垂直，故更不能確保硅碳棒端面的平行度。

       采取的措施:①提高拉晶工的拉晶水平，確保硅碳棒的表面基本保持平整，不能出現(xiàn)忽凸忽凹現(xiàn)象;②針對(duì)硅碳棒表面平整度差的硅碳棒，可以在硅碳棒直徑小的地方墊一些硬塑料或小木片，使其保持水平狀態(tài)或垂直于鋸帶，盡可能避免平行度差的現(xiàn)象發(fā)生。

       本文借助于生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的操作經(jīng)驗(yàn)，分別從夾具、木契及鋸帶的切割速度等因素分析了單晶圓棒發(fā)生崩邊現(xiàn)象的原因，并分別從夾具、導(dǎo)向器與鋸帶及硅碳棒的表面質(zhì)量等因素分析了單晶圓棒發(fā)生平行度差現(xiàn)象的原因。結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際，給出了具體的應(yīng)對(duì)措施，取得了顯著的效果。http://zsrider.com/