硅碳棒的表面質(zhì)量
采取的措施:定期對(duì)導(dǎo)向器銅塊進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù),用一段時(shí)間后要用砂紙打磨小銅塊;同時(shí)要注意對(duì)鋸帶使用的保護(hù),冷卻水管道必須對(duì)準(zhǔn)鋸帶,使其一直處于被冷卻狀態(tài)。
硅碳棒表面的粗細(xì)不均勻,導(dǎo)致夾具與硅碳棒的接觸面積減小,面接觸變?yōu)榱它c(diǎn)接觸,摩擦力減小,故不能保證硅碳棒的穩(wěn)定性,雖然夾具已經(jīng)夾得緊,但由于硅碳棒受力不均勻,所以會(huì)發(fā)生左右或向下的移動(dòng),不能保證硅碳棒與鋸帶垂直,故更不能確保硅碳棒端面的平行度。
采取的措施:①提高拉晶工的拉晶水平,確保硅碳棒的表面基本保持平整,不能出現(xiàn)忽凸忽凹現(xiàn)象;②針對(duì)硅碳棒表面平整度差的硅碳棒,可以在硅碳棒直徑小的地方墊一些硬塑料或小木片,使其保持水平狀態(tài)或垂直于鋸帶,盡可能避免平行度差的現(xiàn)象發(fā)生。
本文借助于生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的操作經(jīng)驗(yàn),分別從夾具、木契及鋸帶的切割速度等因素分析了單晶圓棒發(fā)生崩邊現(xiàn)象的原因,并分別從夾具、導(dǎo)向器與鋸帶及硅碳棒的表面質(zhì)量等因素分析了單晶圓棒發(fā)生平行度差現(xiàn)象的原因。結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際,給出了具體的應(yīng)對(duì)措施,取得了顯著的效果。http://zsrider.com/
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