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各等級硅碳棒對應(yīng)的底部晶花的要求

2024-04-13 11:27:23     點(diǎn)擊:

       硅碳棒底部晶花判斷在平磨后外觀分類測量環(huán)節(jié)進(jìn)行,等級硅碳棒的底部晶花要求如下。

       1)經(jīng)少子壽命判為H4,且籽晶100%保留的硅碳棒直接判定為小晶花畦棒底部任意一個晶粒面積要小于1 cm;硅碳棒底部晶粒面積小于0.5 cm的數(shù)量占總數(shù)90%以上,見圖6-a),或籽晶部分熔化或無籽晶的,在平磨后經(jīng)分類測量判斷為小晶花的,歸為H4。

       2)經(jīng)少子壽命判為H4,經(jīng)分類測量判定為大晶花蛙棒底部出現(xiàn)任意一個晶粒面積大于1 cm;硅碳棒底部晶粒面積大于0.5 cm的數(shù)量占總數(shù)10%以上,見圖6-b),歸為H3。

       3)經(jīng)少子壽命判為H3,在平磨后分類測量底部晶花,經(jīng)分類測量判斷為小晶花的,歸為H3;經(jīng)分類測量判斷為大晶花的,歸為H2。

       4)經(jīng)少子壽命判為H2,不分類測量磨后晶花,不再降級。

       5)經(jīng)少子壽命判為H1,不分類測量磨后晶花,不再降級。http://zsrider.com/

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