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       綜合考慮上述各種情況，在所取的條件下，溫度過低或過高硅收率均很低，溫度范圍在7oo-soo℃較。然而，若壓力或硅烷流量不同于本文中的參考值，則較佳的溫度范圍會(huì)有相應(yīng)的變化。壓力的影響將硅碳棒溫固定為loo0c，硅烷流量固定為2. 2 kg/h，壓力變化05-v0. 6 MPa，考察不同壓力對(duì)分解過程各個(gè)指標(biāo)的影響。圖7為不同壓力下，硅收率、硅烷比和硅粉比的變化。當(dāng)壓力為0. 1 MPa時(shí)，模擬結(jié)果與實(shí)際經(jīng)驗(yàn)相符。隨著壓力的增大出口硅烷比減少，同時(shí)出口硅粉比也減少，硅收率增加。因此，增大壓力有利于多晶硅的生產(chǎn)。但是當(dāng)壓力增加到0. 3 MPa以后，各個(gè)指標(biāo)的變化趨于穩(wěn)定，由此可見，分解爐內(nèi)壓力在。3 MPa以后若再增大壓力，對(duì)于提高硅收率，降低硅烷反應(yīng)率和降低硅粉比沒有太大的貢獻(xiàn)。壓力/MPa硅烷比，硅收率，硅粉比圖7不同壓力下的硅收率，硅烷比和硅粉比利用Fluent軟件模擬鐘罩式硅烷硅碳棒分解爐內(nèi)同時(shí)發(fā)生的傳熱、傳質(zhì)和熱化學(xué)反應(yīng)過程。結(jié)果表明，增大硅烷流量能降低單位能耗，但是過大的硅烷流量會(huì)造成硅烷分解率降低，合適的硅烷流量受到分解爐尺寸的限制;在溫度700-800℃和較高的壓力0. 3 MPa下可以抑制氣相分解，得到較高的沉積速率，從而降低能耗。

       溫度梯度電爐是研究陶瓷材料燒成性能較為有用的設(shè)備之一。通常確定新的或未知的陶瓷配料燒成范圍和燒成性能，需要對(duì)它們分別在不同溫度下進(jìn)行燒成，以確定樣品的燒結(jié)性能。這是一個(gè)既費(fèi)時(shí)間又繁瑣的過程。而在陶瓷性能試驗(yàn)中又往往需要對(duì)陶瓷配料作快速測(cè)定?！疤荻入姞t”就是研究陶瓷材料燒成性能較為理想的設(shè)備，它不需要重復(fù)在不同溫度下進(jìn)行燒成，只要將陶瓷配方或原料制好試快，放入梯度硅碳棒電爐內(nèi)，經(jīng)過迅速的操作過程就能得到所需的大量數(shù)據(jù)。根據(jù)我所的硅碳棒溫度梯度電爐綜述如下:

       在角鐵框架上放置一個(gè)茂福式爐體，爐體的外部尺寸為:460 x 460 x 420 (mm)，用泡沫磚作保溫材料，爐膛尺寸為455 x 36x 23 (mm)熱電偶位置如圖一所示。角鐵做的框架，面板上裝有電流表、電冤表、5KVA調(diào)壓器，XCT-101型動(dòng)圈溫度指示儀，十二組按鍵式測(cè)溫開關(guān)。硅碳棒爐膛內(nèi)兩側(cè)裝有十二支測(cè)溫鉑姥一鉑熱電偶。溫度梯度是由發(fā)熱元件加熱使中間溫度高，兩頭爐門口溫度低，硅碳棒電爐膛的結(jié)構(gòu)自然散熱，達(dá)到溫度梯度之目的。http://zsrider.com/