硅碳棒新型拉晶爐的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
為硅碳棒新型拉晶爐結(jié)構(gòu)圖,其主要由增鍋、增鍋軸、電極柱、側(cè)加熱器、底加熱器、導(dǎo)流筒及保溫組件等部件組成。
硅碳棒新型拉晶爐中的增鍋由設(shè)置在爐體底部的增鍋軸支撐,增鍋的底部和兩側(cè)分別設(shè)置有底加熱器和側(cè)加熱器,可在化料或工藝加工時(shí)使用。電極柱分別與底加熱器及側(cè)加熱器連接,可用于支撐加熱器。保溫組件包括設(shè)置在爐體內(nèi)壁與導(dǎo)流筒及增鍋之間的保溫筒(上筒、中筒和下筒)、設(shè)置在保溫筒上方的保溫蓋(上蓋和下蓋),以及設(shè)置在保溫筒下方的底盤。保溫組件主要起到保溫和調(diào)整溫度梯度的作用。
導(dǎo)流筒的頂部穿設(shè)在保溫蓋之間,導(dǎo)流筒包括外筒和內(nèi)筒,內(nèi)筒為漏斗形,外筒的縱截面為底面開口的U形;內(nèi)筒與外筒中間用孰膠軟氈填充;外筒的底面開口與內(nèi)筒的底面開口一致并對齊設(shè)置,且內(nèi)筒的底端直接放置在外筒的底壁上方;內(nèi)筒與外筒的上部均通過定位環(huán)固定。內(nèi)筒的漏斗形設(shè)計(jì)可有效抑制爐體上部的氫氣流動(dòng)旋渦,進(jìn)而減少爐內(nèi)揮發(fā)物的沉積;外筒的U形設(shè)計(jì)及內(nèi)、外筒之間的孰膠軟氈,可減少加熱器對晶體的熱輻射和熱傳導(dǎo),并加快成晶速率。
保溫筒包括依次連接的上筒、中筒和下筒,其中,上筒與中筒通過支撐環(huán)連接;上筒、中筒及下筒的外圍皆設(shè)置有用于保溫的孰膠軟氈。http://zsrider.com/
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