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       介紹了一種新型拉晶爐，采用直拉法拉制大直徑硅碳棒，然后切割成方硅芯。該種拉晶爐一次性出硅芯數(shù)量多，彎曲度可控，表面附著力強(qiáng)，可大幅提高硅芯的生產(chǎn)效率。

       在多晶硅產(chǎn)品生產(chǎn)中，硅芯是原生硅生長(zhǎng)的載體，原生硅碳棒是通過(guò)硅芯的導(dǎo)電性能使其在高溫下通過(guò)化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)而形成的。所以，硅芯質(zhì)量會(huì)直接影響原生硅碳棒的質(zhì)量。

       硅芯的制備方法主要有區(qū)熔法拉制圓硅芯和機(jī)械加工硅碳棒再制成方硅芯。

       傳統(tǒng)的區(qū)熔法拉晶爐可一次性拉制圓硅芯，所拉制圓硅芯的規(guī)格一般為8 mmX2200 mm一8 mmX2400 mm，一次出硅芯的數(shù)量從之前的幾根到現(xiàn)在的十幾根不等。該種拉晶爐存在的局限性主要有:操作熟練度要求高;一次成型，彎曲度不可控需單獨(dú)拉制連接圓硅芯時(shí)所用的橫梁、橋;一次硅芯出爐數(shù)量有限;總體能耗高等。

       普通的機(jī)械加工硅碳棒制成方硅芯采用的是直拉法拉晶爐，其可拉制圓硅碳棒，然后機(jī)械加工成方硅芯。拉制的硅碳棒直徑一般為必120180 mm、長(zhǎng)度為2200 -- 2400 mm，切割成的方硅芯規(guī)格主要有14 mmX14 mm,  15 mmX15mm,  16 mmX 16 mm等。

       與傳統(tǒng)方式相比，本文介紹的新型拉晶爐采用的是直拉法，具有投料量大、硅碳棒直徑大、長(zhǎng)度長(zhǎng)、產(chǎn)能高等優(yōu)點(diǎn)。雖然目前切割方硅芯的成本相對(duì)較高，但方硅芯具有相對(duì)表面積大、規(guī)格統(tǒng)一、彎曲度可控等優(yōu)點(diǎn)。因此，新型拉晶爐拉制硅碳棒，然后機(jī)械加工成方硅芯的方式具有潛在優(yōu)勢(shì)，其取代傳統(tǒng)區(qū)熔法拉晶爐拉制圓硅芯已成為必然趨勢(shì)。http://zsrider.com/