新型拉晶爐硅碳棒的優(yōu)勢主要體現(xiàn)
綜上所述,新型拉晶爐硅碳棒的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在:
1)與傳統(tǒng)區(qū)熔法拉晶爐硅碳棒相比,新型拉晶爐硅碳棒操作簡單;2)新型拉晶爐硅碳棒對于硅芯的彎曲度可控,可降低因硅芯彎曲度而造成的還原爐在運(yùn)行過程中的倒?fàn)t;3)新型拉晶爐硅碳棒拉制的硅碳棒切割成的方硅芯比圓硅芯相對表面積大,表面附著力強(qiáng),沉積層與切割的方硅芯結(jié)合密實(shí),沉積層不易分區(qū),避免“菜花料”等不致密料產(chǎn)出;4)傳統(tǒng)區(qū)熔法拉制圓硅芯的橫梁、橋都是放置在開槽中的,接觸面積小,高壓擊穿或大氣流通過時(shí)易跌落而導(dǎo)致倒?fàn)t,而新型拉晶爐硅碳棒拉制硅碳棒后切割方硅芯相對可靠,倒?fàn)t率大幅下降;5)新型拉晶爐硅碳棒拉制硅碳棒后切割的硅芯數(shù)量遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)區(qū)熔法拉晶爐硅碳棒和普通的直拉法拉晶爐硅碳棒;6)使用新型拉晶爐硅碳棒拉制硅碳棒后切割的硅芯,無需單獨(dú)生產(chǎn)制造硅芯橫梁、橋的基材,提高了生產(chǎn)效率。
新型拉晶爐硅碳棒拉制硅碳棒后切割方硅芯時(shí)存在的不足包括:1)工藝復(fù)雜,易造成硅芯折斷;2)該技術(shù)近幾年僅在國內(nèi)使用,技術(shù)相對缺乏;3)所需割線量大,成本高。
總體而言,目前市場上硅片價(jià)格下探,硅料利潤壓縮甚至虧損,迫使越來越多的晶體硅廠家通過提高晶體拉速、增大晶體直徑、增加裝料量的方式來壓縮成本,拉晶爐硅碳棒的型號也由120型、140型取代原來的80型、90型,熱場也從20",22",增至26",28“甚至32"。
本文將采用直拉法的新型拉晶爐硅碳棒與傳統(tǒng)拉晶爐硅碳棒進(jìn)行性能對比后發(fā)現(xiàn),新型拉晶爐硅碳棒切割的方硅芯在硅芯直徑、硅芯數(shù)量及硅芯長度方面,均大于其他兩種傳統(tǒng)拉晶爐硅碳棒。雖近年來國內(nèi)切害方硅芯的技術(shù)相對缺乏,但依托單晶直拉技術(shù)的進(jìn)步,該種新型拉晶爐硅碳棒在硅芯制備中的應(yīng)用將越來越廣泛。http://zsrider.com/
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