克服半導(dǎo)體熱處理爐中MoSi硅碳棒的低溫氧化問題
2021-08-14 19:41:37 點(diǎn)擊：
為了克服半導(dǎo)體熱處理爐中MoSi硅碳棒的低溫氧化問題，通過添加高N動粘土獲得了由MoSi知ide復(fù)合材料制成的硅碳棒，考查了脫Na工藝前MoSilnxide硅碳棒使用特性的變化.研究結(jié)果表明，脫Na工藝較好地解決了半導(dǎo)體硅碳棒熱處理裝置中石英玻璃管的失透問題.使硅碳棒的彎曲強(qiáng)度和高Z蠕變特性有了明顯地改善.提高了硅碳棒的使用壽命.近年來.與信息技術(shù)相關(guān)的電子產(chǎn)品快速向輕量化和微型化發(fā)展，與之相應(yīng)的半導(dǎo)體器件的制造裝置需要能戶陽棗升降溫的硅碳棒m,作為硅碳棒用材料的二硅化鉑(T3aSi具有一系列優(yōu)異的性能，能夠滿足這一使用要求但是，半導(dǎo)體硅碳棒的熱處理一般在中低溫范圍內(nèi)進(jìn)行((400 1 200 0C)，二硅化鉑材料在該溫度范圍內(nèi)抗氧化性能很差，常常因劇烈的氧化作用而發(fā)生粉化現(xiàn)象間。嚴(yán)重影響了其使用效果.為了解決這一題,Jia滬從低溫氧化機(jī)理出發(fā)，通過添加粘土制造出具有網(wǎng)絡(luò)狀組織結(jié)構(gòu)的復(fù)合材料，其低溫抗氧化性能比通常二硅化鋁材料提高lOf吝以上但添加粘土后也將存在如下問題:①由于>Q的粘土中含有較多的Na20，高溫下使用時(shí)Nab()的揮發(fā)容易造成半導(dǎo)體熱處理裝置中的石英玻璃管失透;②高的N啥量對硅碳棒的強(qiáng)度、高溫蠕變特性及使用壽命都有不利影響.本文旨在通過脫R'a工藝前后材料特性的比較，討論Nay()的存在對MoSiloacide硅碳棒使用特性的影響·實(shí)驗(yàn)原料為高純MoSi2粉末和精制鋁硅酸鹽粘土，平均粒徑分別為3.6 , m和0.2 . m.以鋁硅酸鹽粘土的體積含量為20%的比例配料，混合均勻后，擠壓成型直徑為4 mm的棒材，在氫氣保護(hù)氣氛中1 400℃保溫2h的條件下無壓燒結(jié).燒成試樣在高真空爐內(nèi)中1 500℃保溫5h進(jìn)行脫Na處理，而后，采用噴砂工藝將脫Na處理過程中形成的劣質(zhì)表面膜除去，再利用快速通電加熱的方法將試樣在l 500℃保溫2 min進(jìn)行二次成膜處理.脫Na下藝后Na含量(二(B)油原來的0.3%左右降至0.015%以下。zsrider.com
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