驗(yàn)證硅碳棒回融融接工藝
2024-04-02 18:42:04 點(diǎn)擊：
無論是由于直徑突變、單晶斷棱還是提斷等原因?qū)е碌?a href="http://zsrider.com" target="_self">硅碳棒不良，都會(huì)使成本大幅增加。在此情況下，根據(jù)車間生產(chǎn)實(shí)際總結(jié)出一套回融接棒工藝。具體工藝過程包括:回融穩(wěn)溫接棒三個(gè)階段，各階段具體工藝參數(shù)。
融接工藝要點(diǎn)在于回融，直拉硅碳棒生長(zhǎng)過程中，由于硅碳棒表面散熱快，硅碳棒中心散熱慢，硅碳棒底部呈內(nèi)凹型。如果直接提斷，在接棒時(shí)底部凹坑內(nèi)會(huì)有氣體進(jìn)人，導(dǎo)致硅碳棒隱裂，因此必須回融?；厝跁r(shí)硅碳棒邊緣受熱較多，熔融較快，回融后硅碳棒底部略顯凸型，在接棒時(shí)可以避免有氣體進(jìn)入融接面。
單晶硅碳棒在回融時(shí)，由于斷棱影響，需要回融較多長(zhǎng)度，目的是確保導(dǎo)致斷棱的位錯(cuò)完全融掉。之后提斷，把硅碳棒當(dāng)做一根粗籽晶重新引晶接棒。這樣生產(chǎn)的硅碳棒，雖然上部分是單晶下部分是多晶，但是單多晶融接面沒有大面積定向位錯(cuò)，在硅芯開方過程中不會(huì)出現(xiàn)大面積隱裂，導(dǎo)致良率嚴(yán)重降低。
經(jīng)過多次工藝調(diào)試和試制，驗(yàn)證硅碳棒回融融接工藝，時(shí)間短、無隱裂，完全滿足生產(chǎn)要求。
通過對(duì)比直拉法硅碳棒與單晶硅碳棒的主要工藝區(qū)別，以及融接工藝調(diào)試得出以下結(jié)論。
1)直拉法生產(chǎn)硅碳棒可以是單晶，也可以是多晶。單晶硅碳棒工藝與單晶硅碳棒一致，在拉制多晶硅碳棒時(shí)，引晶階段是單晶，在放肩階段需要通過擾動(dòng)溫度、晶轉(zhuǎn)將單晶轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑А?/p>
2)與單晶硅碳棒提斷不同，多晶硅碳棒后期為縱向切割，提斷或直徑過小損失較大，嚴(yán)重時(shí)整爐報(bào)廢。而單晶硅碳棒提斷后，其余部分仍可作為合格品使用。
3)融接工藝解決了硅碳棒拉制過程中的提斷問題，顯著提高了成品率，降低了加工成本。具體工藝參數(shù)及操作手法因環(huán)境、設(shè)備而異，但工藝思路值得參考。http://zsrider.com/
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